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微机电光开关(MEMS光开关)
一种在半导体衬底材料上,用传统的半导体工艺制造出可前倾后仰、上下移动或旋转的微反射镜阵列,在驱动力的作用下,对输入光信号可切换到不同输出光纤的微机电系统。可升降微反射镜MEMS光开关第29页,共76页,星期日,2025年,2月5日可旋转微反射镜MEMS光开关第30页,共76页,星期日,2025年,2月5日可立卧微反射镜MEMS光开关第31页,共76页,星期日,2025年,2月5日MEMS光开关优缺点具有机械光开关和波导光开关的优点,却克服了它们所固有的缺点;采用了机械光开关的原理,但又能象波导开关那样,集成在单片硅基上;基于围绕微机械中枢转动的自由移动镜面。主要开发商有美国Lucent、德克萨斯仪表公司和康宁等公司。第32页,共76页,星期日,2025年,2月5日波导光开关:利用固体物理效应电光开关热光开关磁光开关第33页,共76页,星期日,2025年,2月5日马赫-曾德尔1?1光开关电光效应是在电场作用下改变材料的折射率和光的相位,再利用光的干涉或偏振等使光强突变或光路转变。第34页,共76页,星期日,2025年,2月5日热光波导开关热光效应是通过电流加热的方法,使介质的温度变化,导致光在介质传输的折射率和相位发生改变的物理效应。第35页,共76页,星期日,2025年,2月5日磁光开关法拉第(Faraday)磁致旋光效应——在外加磁场作用下,某些原本各向同性的介质变成旋光性物质,偏振光通过该物质时其偏振面发生旋转。磁致旋光不可逆性第36页,共76页,星期日,2025年,2月5日磁光式光开关第37页,共76页,星期日,2025年,2月5日波导光开关优缺点优点:开关速度快,重复性好,可靠性高,使用寿命长,尺寸小,可单片集成缺点:插入损耗大,串扰大,应予改进第38页,共76页,星期日,2025年,2月5日滤波器功能:从包含多个频率分量的信号中提出所需频率的信号。第39页,共76页,星期日,2025年,2月5日种类法布里?珀罗(F-P)滤波器马赫-曾德尔(M-Z)滤波器光纤布拉格(Bragg)光栅滤波器第40页,共76页,星期日,2025年,2月5日F-P滤波器结构由两块平行镜面组成的谐振腔,一块固定,另一块可移动镜面是经过精细加工并镀有金属反射膜或多层介质膜的玻璃板第41页,共76页,星期日,2025年,2月5日光纤F-P干涉仪通过外加电压使压电陶瓷产生电致伸缩作用来改变谐振腔的长度第42页,共76页,星期日,2025年,2月5日第43页,共76页,星期日,2025年,2月5日工作原理---光多次干涉和谐振形成驻波的条件?第44页,共76页,星期日,2025年,2月5日谐振腔的谐振频率fm?模间隔Δfm=自由频谱范围(FSR)?频谱宽度δfm?谐振腔的精细度F?第45页,共76页,星期日,2025年,2月5日例:考虑一个空隙间隙长为100微米的F-P谐振腔,镜面反射系数为0.9,请计算靠近波长900nm的模式、模式间隔和每个模式的频谱宽度?第46页,共76页,星期日,2025年,2月5日F-P滤波器的传输特性第47页,共76页,星期日,2025年,2月5日双腔F-P滤波器的级联第48页,共76页,星期日,2025年,2月5日M-Z滤波器结构工作原理?基于两个相干单色光经过不同的光程传输后的干涉理论。第49页,共76页,星期日,2025年,2月5日级联M-Z干涉滤波器要求:输入光波的频率间隔必须精确地控制在的整数倍。第50页,共76页,星期日,2025年,2月5日光纤布拉格光栅(FBG)滤波器第51页,共76页,星期日,2025年,2月5日内部写入法干涉法第52页,共76页,星期日,2025年,2月5日相位掩模板法芯层包层+1级-1级相位掩模板第53页,共76页,星期日,2025年,2月5日光纤光栅带通滤波器第54页,共76页,星期日,2025年,2月5日第1页,共76页,星期日,2025年,2月5日本章内容3.1连接器3.2耦合器3.3光滤波器3.4波分复用/解复用器件3.5调制器3.6光开关3.7光隔离器3.8光环行器3.9光分插复用器3.10波长转换器第2页,共76页,星期日,2025年,2月5日连接器活动连接、固定连接连接器设计基础---尽量减小连接损耗第3页,共76页,星期日,2025年,2月5日连接损耗机理第4页,共76页,星期日,2025年,2月5日活动连接器结构接口零件、光纤插针
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