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T∕CASAS 53-2025 氮化铝抛光片位错密度的测试　腐蚀坑法.docx

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    ICS29.045

    CCSH83

    团 体 标 准

    T/CASAS053—2025

    氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法

    TestmethodfordislocationdensityofpolishedAlNwafer—Etchingpitmethod

    2025-05-20发布 2025-05-20实施

    第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布

    T/CASAS053—2025

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