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压电半导体层合结构中表面波的传播特性研究.pdf

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    摘要

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    压电半导体材料是一种兼具压电和半导体特性的先进功能材料，在电子器

    件、传感、能量转换等领域具有广泛的应用前景。这些应用与压电半导体层合

    结构中表面波的传播特性密切相关，并且声电效应和声电放大效应显著影响着

    其中弹性波的波动响应。因此，本文针对压电半导体薄膜/弹性介电薄膜/弹性

    介电半空间中的Love波和Rayleigh波进行了研究，探讨了压电性、半导体特

    性和薄膜厚度等参数对其中表面波传播行为的影响规律。研究结

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