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ACE自动厨书
1.0异常现象概述:
槽体液位逻辑错误导致机台跳手动
2.0所使用的工具:
内六角、乳胶手套、防护用具(防酸袖套、围裙)、一字起、烧杯
3.0注意事项:
a.工作前先穿戴好防护用具;
b.注意自身安全,操作安全;
c.及时把槽内的片源取出冲洗,防止过泡时间过长而影响片源;
d.液位控制器和液位感应器的参数设置允许的误差范围较小,调整前后都要做好
确认,以防溶液用量出现问题;
e.调整完成后要进行空run测试,并且注意观察液位显示是否正常。
4.0程序:
一:制程槽液位逻辑错误
1,查看警报信息,了解异常问题;
2,打开机台bypass,打开维修门,打开发生异常的槽体槽盖,查看槽体的实际液位;
3,若槽体液位与机台显示的不一致,则对液位进行校正;
4,若实际液位未到达HH液位点,而该点亮起,则调节HH点液位控制器使其熄灭;反
之,若实际液位到达HH点而该点熄灭,则调节控制器使其亮起;
5,调整完成后,将机台切为自动,空run测试,ok后交付工艺。
二:暂存槽液位异常
1,查看警报信息,确定异常槽体;
2,打开机台后舱门,观察暂存槽液位管中溶液实际位置与液位感应器显示是否一致;
3,若液位到达full点而该点感应器未亮,则用一字起旋转感应器上调节螺丝使感应器
刚好亮起;若液位未到达full点而该点感应器亮起,则调节螺丝使感应器刚好熄灭;
4,调节完成后,将机台切自动,空run测试,测试过程中观察各点感应器显示是否正
常,ok后交付工艺。
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