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2026-2031年中国硼化物靶材行业专项深度调研及“十五五”发展规划指

一、行业概述

1.1硼化物靶材的定义与分类

硼化物靶材是一种新型的功能材料，主要由硼及其化合物构成，具有高熔点、高硬度、高耐磨性、低热膨胀系数和良好的化学稳定性等优异性能。这类材料在高温、高压、强辐射等极端环境下仍能保持良好的物理和化学性能，因此在半导体、核能、航空航天、新能源等领域有着广泛的应用。硼化物靶材主要包括硼化物陶瓷靶材和硼化物金属靶材两大类。

硼化物陶瓷靶材以氧化硼、氮化硼、碳化硼等为主要成分，通过高温烧结工艺制备而成。这类靶材具有优异的耐高温性能，最高使用温度可达到2000℃