氢热处理对硅_锗单晶纳米结构形貌的精准调控与机制探究.docx

氢热处理对硅/锗单晶纳米结构形貌的精准调控与机制探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，集成电路技术不断追求更高的性能、更小的尺寸和更低的功耗。纳米结构材料因其独特的物理性质和电学特性，在集成电路领域展现出巨大的应用潜力，成为推动集成电路技术持续进步的关键因素之一。硅（Si）和锗（Ge）作为重要的半导体材料，在纳米结构领域受到了广泛关注。它们的纳米结构，如纳米线、纳米管和纳米薄膜等，具有优异的电学性能，有望为下一代高性能、低功耗的集成电路器件提供核心支持。

在纳米结构的制备和应用过程中，精确控制其形貌是至关重要的。纳米结构的形貌直接影响到材料的电学、光学和力学等性能，进