双极板静电驱动微梁谐振器：非线性振动机制与精准控制策略研究.docx

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2025-11-26 发布于上海
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双极板静电驱动微梁谐振器：非线性振动机制与精准控制策略研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为21世纪最具革命性的高新技术之一，融合了微电子技术、微机械技术、材料科学、物理学、化学以及生物学等多学科的知识与技术，实现了微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等的高度集成。MEMS器件具有体积小、重量轻、能耗低、响应快、高集成度和高灵敏度等显著优势，在航空航天、精密仪器、生物技术、国防军事、通讯等众多领域展现出了巨大的应用潜力与价值。在航空航天领域，MEMS惯性传感器被广泛应用