R20系列高精度光栅式测微仪542-715DC 542-716DC LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH说明书.pdf

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542系列

高精度光栅式测微仪

(0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)

●在10mm的宽范围内实现0.005µm或0.01µm的高分辨率和高精度,可与激光干涉仪相媲美。

●紧凑的机身可以极大地促进设备本身的小型化,不仅是测量高精度零件和高精度定位和控附件选件

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