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542系列
高精度光栅式测微仪
(0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)
●在10mm的宽范围内实现0.005µm或0.01µm的高分辨率和高精度，可与激光干涉仪相媲美。
●紧凑的机身可以极大地促进设备本身的小型化，不仅是测量高精度零件和高精度定位和控附件选件
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