第五讲 等离子制备技术.ppt

等离子体电弧分子温度与电离度的关系利用热致电离方法氢的电离度与温度的关系温度低于0.5eV,电离度低温度升高,电离度急剧升高第30页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子弧及其发生器电弧特性英国化学家戴维(HumphryDavy)约于1810~1811年间,首次点燃并观察了电弧装置组成:直流电流,两个石墨电极,一个可变电阻第31页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子弧及其发生器弧柱区:高温:5000K-50000K等离子体态物质,压降均匀电流:I=Ie+IiIe:电子电流Ii:离子电流电子速度远大于离子速度,Ie/I≈99.9%阴极压降：阴极表面堆积着大量从电弧中被电离出来的正离子形成阳极压降：阳极表面堆积着电弧中被电离出来的电子形成电弧的电压分布第32页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子弧及其发生器阴极区热发射型阴极:高熔点,高沸点材料如碳,钨等材料电子流依靠阴极加热产生热发射提供电场发射型阴极:热发射不足以提供电子阴极附近正离子过剩,产生正离子聚焦区,宽度为10-6~10-7cm,场强可达107~108V/cm新的场强导致了场致发射等离子型阴极热阴极材料,中等电流,压力较低阴极前面有亮的球形区域,温度可高达100000C电流密度可高达104A/cm第33页，共46页，星期日，2025年，2月5日第五讲等离子制备技术第1页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子体的基本概念等离子体由美国物理学家郞谬尔(IrvingLangmuir)首次命名,被称为物质的第四态等离子体的组分:电子,正离子,中性粒子印度物理学家沙哈(M.Saha)计算:宇宙中99.9%的物质是等离子体状态第2页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子体的基本概念等离子体与气体的区别等离子体是导电流体而又整体上保持电中性组成中带电粒子间存在库仑力等离子体的运动行为受到电磁场的影响和制约并非任何电离气体都是等离子体。只要当电离度大到一定程度，使带电粒子密度达到所产生的空间电荷足以限制其自身运动时，这样的“电离气体”才算转变成等离子体。否则，体系中虽有少数粒子电离，仍不过是互不相关的各部分的简单加和，而不具备作为物质的第四态的典型性和特征，仍属于气态。第3页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子体的基本概念等离子体分类高温等离子体（热等离子体）：压力大于1.33×104Pa时，气体密度大，电子撞击气体分子，能量转移，电子温度和气体温度几乎相等低温等离子体（冷等离子体）：压力小于1.33×104Pa时，气体密度小，电子撞击气体概率小，气体吸收电子的能量少，气体温度与电子温度分离，电子温度~104K，气体温度102~103K气体压力越小，电子和气体的温差就越大第4页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子体的基本概念等离子体产生的方法:光照,燃烧,电场激发,放射线，与高温介质接触等分子原子电子+带电的离子等离子体的电离度,假定电子,离子和中性粒子的密度分别外ne,ni及nane≈niη=ne/(ni+na)η0.1%,低温等离子体η1%,高温等离子体温度是原子、分子或离子热运动的剧烈程度第5页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子体的基本概念等离子体的表征方法等离子体的密度ni或ne等离子体的温度等离子体中的粒子碰撞问题原子-原子弹性碰撞原子电离原子-电子:原子电离离子-电子:中性原子离子-原子:电荷转移离子-离子:弹性碰撞,改变方向和速度电子-电子第6页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子放电烧结等离子体烧结技术SPS（SparkPlasmaSintering）：在粉末间直接通入脉冲电流进行加热烧结，也被称为等离子活化烧结或等离子体辅助烧结等离子体烧结发展始：1930年，美国科学家提出利用等离子体脉冲烧结原理1965年，脉冲电流烧结技术在美国和日本等国得到应用1988年，日本研制出第一台工业型等离子体烧结装置1996年，日本组织了等离子体烧结研讨会，每年召开一次1998年，瑞典购进等离子体烧结系统，对碳化物、氧化物及生物陶瓷等进行较多研究工作2006年6月武汉理工大学购置了国内首台等离子体烧结装置，此后国内多所高校及研究所相继引进该装置，成为材料制备的全新技术第7页，共46页，星期日，2025年，2月5日等离子放电烧结等离子体放电烧结原理：机理尚无统一认识SPS的制造商Sumitomo公司的M.Tokita最早提出放电等离子烧结的观点：