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《热加工工艺》2019年11月第48卷第22期
低温取向硅钢渗氮工艺对表面氧化层的影响
肖水方，戴方钦，郭悦，曾曦灿
(武汉科技大学钢铁冶金及资源利用省部共建教育部重点实验室，湖北武汉430081)
摘要：采用场发射电子扫描显微镜(SEM)分析渗氮前后取向硅钢试样表层形貌，采用辉光放电光谱仪
(GD-OES)分析表层元素分布。在GD-OES中用AT离子溅射试样表面，通过控制溅射时间、溅射深度使试样达到表面
不同深度位置。并利用光电子能谱(XPS)分析渗氮前后不同深度元素组成及价态，采用SEM观察渗氮后不同深度形貌
特征，探究渗氮过程反应机理。结果表明：渗氮前，试样表面形成约3p厚的氧化层，外表面由FeO和Fe2SiO4组成，中
间层为球状SiO2,靠近基体一侧为带状SiO2,氧化层中还残留有少量的单质硅。渗氮过程中,NHs分解产生的出会将钢
带表层部分FeO和Fe2SiO4还原成单质Fe和Si02o[N]进入钢带表面，并在浓度梯度的作用下在钢带中发生扩散，与钢
带中合金元素Si等结合以Si3N4形式析出，SisNq在整个氧化层中及靠近氧化层/基体界面的铁基中都有析出，即渗氮
层厚度大于氧化层厚度。
关键词：低温取向硅钢；渗氮；氧化层；GD-OES；XPS；SEM
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.22.033
中图分类号：TG156.8ZTG161文献标识码：A文章编号:1001-3814(2019)22-0137-06
EffectofNitridingProcessonSurfaceOxideLayer
ofLowTemperatureGrain-OrientedSiliconSteel
XIAOShuifang,DAIFangqin,GUOYue,ZENGXican
(KeyLaboratoryforFerrousMetallurgyandResourcesUtilizationofMinistryofEducation,WuhanUniversityofScienceand
Technology,Wuhan430081,China)
Abstract:Thesurfacemorphologiesofthegrain-orientedsiliconsteelsamplesbeforeandafternitridingwereanalyzed
byfieldemissionelectronscanningmicroscope(SEM)andthesurfaceelementdistributionwasanalyzedbyglowdischarge
spectrometer(GD-OES).ThesurfaceofthesamplewassputteredbyArioninGD-OES.Bycontrollingthesputteringtime,
differentspatteringdepthfrothesurfaceofthesamplewasobtained.Thecompositionandvalenceofelementsindifferent
depthbeforeandafternitridingwereanalyzedbyphotoelectronspectroscopy(XPS).Themorphologiesofdifferentdepths
afternitridingwereobservedbySEM,andthereactionmechanisofn
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