原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
HotWorkingTechnology2017，Vo1．46，No．2
磁控溅射制备CrN和CrMoN涂层的
微观结构和性能研究
王宇星，潘健2张侠
(1．衢州职业技术学院机电工程学院，浙江衢州324000；2．浙江工业大学材料科学与工程学院，浙江杭州310014)
摘要：采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUMSIP)技术在M2工具钢和Si片表面沉积CrN和CrMoN梯度
涂层，利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪和摩擦磨损试验仪研究了薄膜组织、成分、相结构、硬度和摩擦磨损性能。结果
表明．CrMoN涂层和CrN涂层呈现出fee结构，CrMoN涂层的表面比CrN涂层更为紧凑致密。CrMoN涂层的纳米硬
度和弹性模量高于CrN涂层，CrMoN涂层的摩擦系数和磨损率均小于CrN涂层。
关键词：CrN；CrMoN；磁控溅射；微观结构；力学性能
D0I：10．14158／j．cnki．1001-3814．2017．02．038
中图分类号：TG174文献标识码：A文章编号：1001．3814(2017)02．0134．03
StudyonMicrostructureandPropertiesofCrNandCrMoNCoatings
PreparedbyMagnetronSputtering
WANGYuxing，PANJian2，ZHANGXia2
(1．CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，QuzhouCollegeofTechnology,Quzhou324000，China；2．Collegeof
MaterialsScienceandEngineering，ZhejiangUniversityofTechnoloyg，Hangzhou310014，China)
Abstract：CrNnadCrMoNcoatnigsweredepositedonM2t0olsteelnadsiliconwafersubstratesbyclosed．field
unbalnacedmagnetronsputteringionplatnig(CFUMSlP)technique．Themicrostructure，composition，phasestructure，
hardnessnadfrictionnadwearpropertiesofthecoatingswerestudiedbySEM，EDS，XRD，nano-indentationandpin—on-disk
tribometer．111eresuRsshowthatCrNandCrMoNcoatingsexhibitfeestructure．ThesurfaceofCrMoNcoatingismore
compacthtanhtat0fCrNcoating．Thenano-hradnessnadelasticmodulusofCrMoNcoatingishigherhtnahtatofCrNcoating
．Thefiictioncoe衔cientnadwerarateofCrMoNcoatingislowerhtnahtatofCrNCoating．
Keywords：CrN；CrMoN；magnetronsputtering；microstructure；mechanicalproperties
CrN涂层因具有较高的硬度和耐磨性．广泛的CrN和CrMoN涂层，研究Mo的添加对CrN涂层
应用于刀具和模具表面【¨】。近年来，由于现代加工技微观结构和力学性能等的影响。
术的飞速发展，原有的二元CrN涂层逐渐无法满足
1试验材料与方法
生产
文档评论（0）