石英微陀螺仪的ANSYS有限元仿真分析.docx

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摘要

由于时代的快速发展，微陀螺仪逐渐在某些应用方面替代了传统的陀螺仪。陀螺仪，也称为角速度计，可以用来检测角速度和旋转角度。众所周知，传统的机械陀螺仪、激光陀螺仪和精密光纤陀螺仪在军事,民用,工程,航空等领域都会占有十分重要的地位。然而，这些陀螺仪过于昂贵和笨重，不适合用于消费电子产品。微机械陀螺仪检测角速度是通过用石英或硅制成的振动微机械部件来完成的，所以不需要在内部再特别集成旋转部件。由于微机械陀螺仪易小型化以及大规模生产，具有低成本和小尺寸等特点。近年来，微机械陀螺仪在很多应用中受到密切地关注，本论文是在前人的基础上，提出一种新型对称式压电音叉陀螺仪结