2025无尘室节约能源技术手册.docx

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无尘室节约能源技术手册

2025

一、前言

一、前言

目录

一、前言 1

二、无尘室简介 2

无尘室的工作原理 2

无尘室洁净等级标准 2

无尘室污染物来源 4

无尘室之分类 5

三、无尘室验证测试 6

四、无尘室的能源消耗 8

五、无尘室节能措施 10

无尘室的设计面节能措施 10

无尘室的运转面节能措施 11

六、无尘室节能范例 13

七、结语 14

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一、f前言

为了不使产品在制造过程中受到如灰尘或微生物等污染物的影响,进而造成产品良率下降,因此某些制程必须在一个无尘的环境下才能进行,于是有了无尘

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