贝塞尔光束赋能飞秒激光：微环结构动态全息加工与多元应用探索.docx

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2025-11-24 发布于上海
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贝塞尔光束赋能飞秒激光：微环结构动态全息加工与多元应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，微纳加工技术作为制造微小尺度结构和器件的关键手段，对于推动众多领域的进步具有举足轻重的作用。其中，飞秒激光加工以其独特的优势脱颖而出，成为微纳加工领域的研究热点之一。飞秒激光具有脉冲宽度极短（通常在飞秒量级，1飞秒=10^{-15}秒）、能量密度极高和瞬时功率极大的特点。在百飞秒量级的脉冲与材料相互作用时，材料对超快激光的吸收时间远远小于材料热效应的弛豫时间，这使得飞秒激光加工几乎不会对加工材料造成热损伤，是一种极为优秀的“冷加工”手段。这种特性保证了加工过程中材