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PLD法制备ZnO薄膜的微观结构分析.pdfVIP

PLD法制备ZnO薄膜的微观结构分析.pdf

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    HotWorkingTechnology2018，Vo1．47，No．16

    PLD法制备ZnO薄膜的微观结构分析

    孙彦清．娄本浊

    (陕西理工大学物理与电信工程学院，陕西汉中723000)

    摘要：采用脉冲激光沉积法在玻璃基板上制备ZnO薄膜。利用XRD与SEM分析脉冲能量与基板温度对薄膜微

    观结构的影响。结果表明：脉冲强度为100mJ时，轰击下来的

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