2024半导体行业节能技术.docx

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半导体行业节能技术

2024/10/20

技术手册大纲(目录)

壹、前言

电子业厂房用电需求

一、半导体厂用电分布图(sample)二、LCD厂区用电分布图(sample)

贰、空调与洁净室节能方案

参、智能控制器操作观念-冰水温度控制肆、冷却水塔扇叶节能方案

伍、空压机的热能回收方案

陆、CDA系统冷冻式干燥机节能方案柒、CDA系统加热式干燥机节能方案

捌、纯水RO前段低压及高压PUMP节能方案

壹、前言

电子业厂房用电需求

科学园区前五大产业分别为半导体、面板、光电、精密机械和生物科技产业,其中半导体、面板与光电3个产业用电量较高,投入节能

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