真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵发展报告.docx

真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵发展报告

摘要

本报告详细阐述了《真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵》标准的制定背景、目的意义及技术内容。该标准等同采用ISO21360-5：2023国际标准，填补了国内在NEG真空泵性能测量领域的标准空白。NEG真空泵作为一种基于化学吸附原理的全新高真空获得设备，具有清洁无油、无振动、室温抽气等独特优势，在高端科研和工业领域展现出广阔应用前景。本标准的制定将为我国NEG真空泵的设计、制造、检测和应用提供统一规范，推动真空技术水平的整体提升。

要点列表

-NEG真空泵采用全新工作原理，基于化学吸附和吸