射频磁控溅射制备CuAlO₂薄膜：工艺调控与性能优化的深度探究.docxVIP

射频磁控溅射制备CuAlO?薄膜：工艺调控与性能优化的深度探究

一、绪论

1.1研究背景

在现代电子技术和光电器件的迅猛发展进程中，透明导电氧化物（TCO）作为一类关键材料，在众多领域展现出至关重要的应用价值，受到了广泛的关注和深入的研究。透明导电氧化物，顾名思义，是一种兼具高透光率和高导电率的特殊材料，这两种看似矛盾的特性使其在诸多应用场景中发挥着不可替代的作用。

从发展历程来看，透明导电氧化物的研究可追溯到较早时期，1907年Badeker发现了第一个透明导电的CdO材料，激发了人们对透明导电材料的浓厚兴趣。然而，在随后较长一段时间里，由于实际需求的限制，透明导电氧化物材料并