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MgF2微腔自注入锁定技术下的半导体激光器窄线宽研究
目录
文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.1半导体激光器的发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.2窄线宽激光器的应用需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.2窄线宽激光器技术途径概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.2.1外腔激光器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.2.2自注入锁定技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.3MgF2微腔自注入锁定技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
1.3.1MgF2微腔的特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.3.2自注入锁定的原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.4本文研究内容及目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
MgF2微腔自注入锁定半导体激光器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
2.1激光器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.1.1有源区设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
2.1.2微腔结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.1.3MgF2材料选择与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
2.2光学谐振腔设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
2.2.1谐振腔类型选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.2.2谐振腔参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.3自注入锁定机制分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
2.3.1谐振模式竞争．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
2.3.2频率牵引效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.4激光器制备工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
MgF2微腔自注入锁定半导体激光器制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
3.1有源区材料生长．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
3.1.1外延生长技术选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
3.1.2生长参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
3.2MgF2微腔制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
3.2.1微腔加工方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
3.2.2微腔形貌控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57
3.3激光器器件集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
3.3.1器件连接技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
3.3.2器件封装工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
MgF2微腔自注入锁定半导体激光器测试与分析．．．．．．．．．．．．．．．65
4.1激光器性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
4.1.1输出功率与阈值电流．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68
4.1.2光谱特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
4.1.3线宽测量方法．．．．．．．
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