2025年全球半导体特种气体技术发展趋势报告.docx

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一、项目概述

1.1项目背景

半导体产业作为现代信息社会的基石，其发展深度依赖上游材料与设备的支撑，而特种气体作为半导体制造过程中不可或缺的“工业血液”，广泛应用于芯片制造的刻蚀、沉积、离子注入、气相清洗等核心环节，其纯度、稳定性与种类直接决定了芯片的性能与良率。近年来，随着5G通信、人工智能、物联网、新能源汽车等新兴领域的爆发式增长，全球芯片需求持续攀升，先进制程节点（如3nm、2nm）的加速迭代对特种气体的技术指标提出了更高要求——例如，逻辑芯片制造中所需的电子级高纯氨纯度需达到6N（99.9999%）以上，而存储芯片刻蚀环节