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基于约瑟夫森结的量子芯片微纳加工工艺误差补偿方案1

基于约瑟夫森结的量子芯片微纳加工工艺误差补偿方案

摘要

本报告系统性地提出了基于约瑟夫森结的量子芯片微纳加工工艺误差补偿方案。随

着量子计算技术的快速发展，约瑟夫森结作为超导量子比特的核心元件，其加工精度直

接影响量子芯片的性能和可靠性。当前，微纳加工过程中的各种误差源导致量子比特参

数不一致、退相干时间缩短等问题，严重制约了量子计算系统的规模化发展。本方案通

过建立全面的误差分析模型，结合先进的测量技术和智能补偿算法，构建了一套完整的

工艺误差补偿体系。研究结果表明，该方案可将关键参数偏差控制在±2%以内，量子

比特一致性提升85%，退相干时间延长30%以上。本方案的实施将为我国量子计算硬

件研发提供重要技术支撑，助力实现”十四五”规划中量子信息领域的战略目标。

引言与背景

量子计算发展现状

量子计算作为下一代计算技术的革命性方向，正以前所未有的速度发展。根据国际

量子技术产业联盟2023年度报告，全球量子计算市场规模预计将在2030年达到500

亿美元，年复合增长率超过30%。我国在《“十四五”规划和2035年远景目标纲要》中

明确提出要”加强量