《GB_T 40128-2021表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法》专题研究报告.pptx

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;目录;;为何MoS2厚度测量成为二维半导体产业的“刚需”;(二)标准制定的技术溯源与产业驱动背景;(三)标准核心框架:从样品到结果的全链条管控逻辑;;AFM的“原子级触觉”:测量原理的标准解读;(二)MoS2的物理特性对测量原理的特殊要求;(三)标准原理与国际先进方法的一致性验证;;;(二)设备校准的“量值溯源”:标准物质与校准周期;;;;(二)MoS2转移方法的标准规范:湿法与干法的选择;;;;(二)测量区域与点数的标准要求:兼顾效率与代表性;;;;在AFM高度图中,选取MoS2区域与相邻衬底区域的高度差作为厚度值。每个测量点计算3次高度

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