TCEMIA-有机发光二极管显示用正胶显影液编制说明.docx

CEMIA团体标准

《有机发光二极管显示用正胶显影液》（征求意见稿）

编制说明

工作简况

任务来源

在有机发光二极管显示（下称OLED显示）关键生产步骤——光刻工艺中，显影工艺为每一道光刻工艺的关键制程。显影工艺是否完美实现，不发生不显、过显或产生Mura，光刻胶残留等情况，是决定OLED显示最终良率的主要因素之一。当前光刻胶显影过程主要采用湿法化学工艺，该工艺中参与反应的关键组分为正胶显影液。在碱性显影液种类中，四甲基氢氧化铵（下称TMAH）显影液因其不含有金属离子，反应后组分易水洗易除去等优点，广泛使用于OLED显示的显影过程中。OLED显示面板产能的不断扩张，导致相关湿化学品，尤其是OL