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碳化硅陶瓷膜研究国内外文献综述
碳化硅是目前仅能通过人工才能大量获得的一种无机材料,其不
仅具有十分良好的物理化学性能,它还具有中等密度,高弹性模量,
热导率高、化学稳定性等优点。它是各种高性能应用的理想选择及特
殊环境中的先耐火材料第],也是用于制备高温、高频和大功率器
件的优秀材料⑺。
碳化硅分子式为SiC,分子量40.07,是比较普遍的人工合成材
料之一闷。它是在电阻炉中的高温环境下用优质石英砂和石油焦制成
的。碳化硅是一种在自然界中发现的相对困难的矿物。当前,我国所
生
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