二级泵极限真空1.pptVIP

表3-1：不同X射线源的能量及其线宽射线能量(eV)FWHM(eV)射线能量(eV)FWHM(eV)YMζ132.30.47MgKα1253.60.7ZrMζ151.40.77AlKα1486.60.85NbMζ171.41.21SiKα1739.51.0MoMζ192.31.53YLα1922.61.5TiLα395.33.0ZrLα2042.41.7CrLα572.83.0AgLα2984.42.6NiLα851.52.5TiKα4510.02.0CuLα929.73.8CrKα5417.02.1NaKα1041.00.4CuKα8048.02.6不同材料的阳极靶的能量与半高宽(FWHM)差异极大。靶材料的自然线宽直接影响分辨率。(2)、单色化X射线源X射线的自然宽度对谱仪的分辨率影响很大，为了提高谱仪的分辨率就要使X射线单色化，大大减小X射线的谱线宽度。X射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高。利用表面椭球状弯曲的石英晶体的(1010)面沿Bragg反射方向衍射后并聚焦的方式便可使X射线单色化。先进的微聚焦X-射线单色器还可以快速高灵敏地分析微小特征。ESCALAB250使用双晶体微聚焦X-