【CN109830435A】一种去除硅片表面二氧化硅膜的装置及方法【专利】.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109830435A

(43)申请公布日2019.05.31

(21)申请号201910104680.4

(22)申请日2019.02.01

(71)申请人天津中环领先材料技术有限公司

地址300384天津市滨海新区高新区华苑

产业区（环外）海泰东路12号内

(72)发明人刘九江刘顺玲李诺谭咏麟

(74)专利代理机构天津滨海科纬知识产权代理

有限公司12211

代理人王耀

(51)Int.Cl.

H01L21/306(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称