溅射功率对Fe_(81)Ga_(19)薄膜结构和磁性的影响.pdfVIP

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  • 2025-12-08 发布于山东
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溅射功率对Fe_(81)Ga_(19)薄膜结构和磁性的影响.pdf

《热加工工艺》2017年11月第46卷第22期

溅射功率对Fe缸Ga薄膜结构和磁性的影响

马亚茹,曹梦雄,王兴宇,马春林,周卫平,谭伟石

f1.南京理工大学理学院应用物理系软化学与功能材料教育部重点实验室,江苏南京210094;2.湖南城市学院

信息与电子工程学院.湖南益阳413002)

摘要:采用射频磁控溅射技术在SrTiO3(100)衬底上制备Fe81Ga19薄膜。利用XRD、AFM和VS

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