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电子级氧化亚氮国家标准修订立项报告：目的意义、范围与主要技术内容.pdf

电子级氧化亚氮国家标准修订立项报告：目的意义、范围与主要技术内容.pdf

    电子级氧化亚氮国家标准修订立项报告：目的意义、范围与

    主要技术内容

    EnglishTitle

    ProjectReportontheRevisionofNationalStandardforElectronicGradeNitrous

    Oxide:Purpose,Significance,ScopeandMainTechnicalContent

    摘要

    随着集成电路制造工艺的不断进步，特别是12英寸晶圆成为主流，对电子级高纯

    气体的质量要求日益提高。氧化亚氮作为半导体产业中

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