激光原理及应用 课件 第5、6章 典型的激光器介绍、激光在精密测量中的应用.ppt

6.2.2激光衍射测量的方法3.分离间隙法利用参考物与被测物不在同一平面内情况下所形成的衍射条纹进行精密测量的方法称为分离间隙法。分离间隙法的测量原理如图6-13所示。图6-13分离间隙法原理图测量出正负不同级次k1和k2上的暗条纹的位置和即可由下式计算出狭缝宽度和间隔6.2.2激光衍射测量的方法4.互补测量法激光互补衍射测量法的原理是巴俾涅定理。图6-14所示为两个互补衍射屏。图6-14巴比涅互补衍射屏6.2.2激光衍射测量的方法5.爱里斑测量法基于圆孔夫朗和费衍射的测量方法称作爱里斑测量法。通常用爱里斑中归一化光强的大小的测量来确