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基于PVDF薄膜振动梁式测头的新型轻敲式扫描探针显微系统的研制与探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，对微观世界的探索不断深入，扫描探针显微系统作为一种能够在原子、分子尺度上对材料表面性质进行探测的仪器，在众多领域展现出了极为广阔的应用前景。在计量学领域，它为纳米尺度的精密测量提供了关键手段，有助于实现更高精度的尺寸、形貌和表面粗糙度等参数的测量，推动了计量技术向纳米级的跨越。在微机电学中，对于微纳器件的研发与制造，扫描探针显微系统能够对微纳结构的表面形貌、力学性能等进行精确表征，为微机电系统（MEMS）的设计、优化和质量控制提供重要依据。在化学领域，它可用于研究化学反应过程中分子的吸附、反应和扩散等行为，深入揭示化学反应的微观机制，助力新型材料的合成与性能研究。在生物医学领域，扫描探针显微系统能够对生物分子、细胞的结构和功能进行高分辨率成像，为疾病的早期诊断、药物研发和生物医学基础研究提供有力支持。

然而，传统的扫描探针显微系统在面对一些特殊的测量需求时，逐渐暴露出其局限性。例如，在测量柔软易损坏材料（如生物组织、蛋白质等）以及具有大台阶特征的表面时，常规的测头结构和检测方式容易对样品造成损伤，且难以实现高精度的测量。因此，开发一种新型的扫描探针显微系统，以满足这些特殊测量需求，成为了当前该领域的研究热点之一。

基于PVDF薄膜振动梁式测头的新型轻敲式扫描探针显微系统的研制，正是为了应对上述挑战。聚偏氟乙烯（PVDF）薄膜具有独特的压电性能，能够将机械振动转化为电信号，反之亦然。将其应用于扫描探针显微系统的测头结构中，有望实现对微小力和位移的高灵敏度检测。同时，轻敲模式的引入，使得测头与样品表面的接触力大大减小，有效降低了对样品的损伤风险，提高了测量的准确性和可靠性。该新型系统的成功研制，不仅能够填补现有扫描探针显微系统在特殊材料和表面测量方面的空白，还将为相关领域的科学研究和技术发展提供更为强大的工具，具有重要的理论意义和实际应用价值。

1.2国内外研究现状

扫描探针显微系统的发展历程充满了创新与突破。20世纪80年代初，IBM公司苏黎世实验室的G.Binnig和H.Rohrer成功研制出世界上第一台扫描隧道显微镜（STM），这一发明标志着扫描探针显微技术的诞生，开启了人类对纳米世界的微观探索之门。STM利用量子隧道效应，通过探测针尖与样品表面之间的隧道电流，实现对样品表面原子级分辨率的成像。1986年，G.Binnig、C.F.Quate和C.Gerber发明了原子力显微镜（AFM），AFM通过检测探针与样品表面之间的原子力相互作用，能够对非导电材料进行成像，极大地拓展了扫描探针显微技术的应用范围。此后，基于STM和AFM的原理，衍生出了多种类型的扫描探针显微镜，如磁力显微镜（MFM）、静电力显微镜（EFM）、近场扫描光学显微镜（NSOM）等，这些显微镜在材料科学、物理学、化学、生物学等领域得到了广泛的应用。

在国内，扫描探针显微系统的研究也取得了显著进展。中国科学院物理研究所等科研机构在扫描探针显微技术的基础研究和应用开发方面开展了大量工作，研制出了具有自主知识产权的扫描探针显微镜，并在纳米材料表征、表面物理化学等领域取得了一系列重要成果。同时，国内一些高校也积极开展相关研究，培养了一批专业人才，推动了扫描探针显微技术在国内的发展和应用。

关于PVDF薄膜振动梁式测头的研究，近年来也受到了国内外学者的广泛关注。国外一些研究团队通过优化PVDF薄膜的制备工艺和测头结构设计，提高了测头的灵敏度和分辨率。例如，[具体文献]中报道了一种采用新型PVDF薄膜制备工艺的振动梁式测头，其在微小力检测方面表现出了优异的性能。在国内，合肥工业大学的研究团队在这方面开展了深入研究，开发出了一种由PVDF薄膜振动梁式测头构成的轻敲扫描探针显微系统，并对其性能进行了系统的测试和分析。研究表明，该系统在测量柔软易损坏材料和具有大台阶特征的表面时，具有低测量力、高分辨率等优点，为PVDF薄膜振动梁式测头在扫描探针显微系统中的应用提供了重要的理论和实践基础。

1.3研究内容与创新点

本研究旨在研制一种基于PVDF薄膜振动梁式测头的新型轻敲式扫描探针显微系统，具体研究内容包括以下几个方面：

微针尖制备：深入研究多种电化学研磨方法的原理和优缺点，通过针对性的改进，提出一种优化的直流电化学研磨法。运用该方法制备一系列微针尖，并系统分析影响探针成型质量的各种因素，以获得高质量的微针尖，满足扫描探针显微系统的高分辨率要求。

扫描力测头研制：详细阐述新型轻敲扫描测头的构成及工作原理，通过一系列实验，全面分析并优化影响测头性能的各项参数，如薄膜的尺