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常州信息职业技术学院电子与电气工程学院毕业设计论文

常州信息职业技术学院

学生毕业设计（论文）报告

系别：电子与电气工程学院

专业：电子信息工程技术

班号：

学生姓名：

学生学号：

设计（论文）题目：外延单片炉PM及DOWN机处理

指导教师：

设计地点：

起迄日期：

常州信息职业技术学院电子与电气工程学院毕业设计论文

毕业设计（论文）任务书

专业电子信息工程技术专业班级姓名

一、课题名称：外延单片炉PM及DOWN机处理

二、主要技术指标：1.对于单片炉而言重要的是本底（用泵对腔体抽真空，抽到的最小的气

压值，本底是检查单片炉完成PM后腔体和管道的密封程度，是否会漏气）还有漏率（指在停

止泵的抽真空时，观察气压的回升速度，单位为torr/min,,系