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亚微米间隙SOI电容式加速度计阵列尺寸效应研究.pdf

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    M3P.098

    亚微米间隙SOI电容式加速度计阵列利用尺寸效应

    松井Y.，平井Y.，土屋T.，田畑O.微工学系，大学，，

    本文亚‑μ米间隙加速度计阵列电容感应加速度原理

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