基于半连续体的硅纳米梁高频振荡特性理论建模与分析.docxVIP

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2025-12-08 发布于上海
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基于半连续体的硅纳米梁高频振荡特性理论建模与分析

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，纳机电系统（NEMS）已成为当今研究的热点领域。NEMS器件由于其特征尺寸缩小到100纳米以下，展现出了许多与传统微机电系统（MEMS）截然不同的特性和功能。例如，NEMS谐振器利用纳米核心结构的尺度效应，使器件频率显著提高，甚至可达到GHz，能够组成高频电路里的振荡器和滤波器；纳米悬臂梁质量可小至10?18g，以其为敏感单元的质量传感器已能检测绑定在结构上的DNA分子，甚至少量原子的影响。

硅纳米梁作为NEMS中十分基础且具有代表性的结构之一，因其单晶硅是集成电路的