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退火与表面处理对IGZO-TFT性能影响的多维度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展,显示技术在人们的生活中扮演着愈发重要的角色,广泛应用于智能手机、平板电脑、电视以及可穿戴设备等各类电子设备中。薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)作为平板显示技术的核心驱动元件,其性能直接影响着显示设备的分辨率、功耗、响应速度以及稳定性等关键指标。

在众多TFT材料体系中,氧化铟镓锌(IndiumGalliumZincOxide,IGZO)凭借其独特的优势脱颖而出,成为研究和应用的热点。IGZO属于透明非晶氧化物半导体,具有高电子迁移率,其迁移率通常

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