原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
分子流模块
为什么仿真?
•快速开发产品
•加深设计者的理解
•节约成本：
–从仿真获得的洞见有助于减少成
本——如果改变端口的位置，
可能只需要更小的泵就足够了
–在真实世界中进行的尝试总是
比较昂贵的事情！
为什么选用COMSOL?
•COMSOL是多物理场仿真和分析
软件的佼佼者
•我们是拥有数十年仿真经验的大型
公司
•多物理场的优势：简便地设定耦合
仿真，例如，
–UHV应用中系统的壁扩散与分子
流之间的耦合
–与分子流耦合模拟表面的化学吸收
COMSOLV4.4产品库
COMSOLV4.4产品库
1.从基本模块开始
2.选择其他模块扩展物理场（分子流模3.选择CAD/ECAD以及MATLAB或Excel
块的用户可能会对没有加灰色的模块感的接口
兴趣）
稀薄气体流动
克努森（Knudsen）数可以判定
气体的稀薄程度，Kn:
Slip
FlowKn=
L
)Continuum
m
(
TransitionalFlow
e稀薄气体流动接口：
l
aFlow
c0.01Kn0.1:滑动流
s
h
t0.1Kn10:过渡流
g
nKn10:分子流
e
LMolecular
Flow
0数密度(n/natm)
-5-3-113压力(mBar)
1010101010
-5-3-11压力(mTorr)
10101010
分子流
可忽略分子之间的碰撞
Kn=≫1
a
漫反射/Knudsen余弦定律：发射的分子通量强度cos()
表面上的漫反射也包含一些镜面反射——
q
在真空系统中它通常很少
文档评论（0）