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真空泵
目录一、概述1、真空泵的分类2、各类真空泵工作压力范围3、真空泵的规格及型号表示法二、常用真空泵技术1、蒸汽喷射泵2、湿式泵3、干式泵三、总结
一、概述真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。
1、真空泵的分类按真空
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