铝掺杂氧化锌薄膜的后处理工艺与复合膜制备技术研究.docx

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2025-12-11 发布于上海
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铝掺杂氧化锌薄膜的后处理工艺与复合膜制备技术研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学领域，氧化锌（ZnO）薄膜作为一种重要的半导体材料，凭借其独特的物理化学性质，展现出极为广阔的应用前景。ZnO是一种直接带隙半导体，室温下带隙宽度约为3.37eV，激子结合能高达60meV，这使得它在光电器件、透明导电薄膜等诸多领域备受关注。在光电器件方面，如紫外发光二极管（UV-LED），利用ZnO的宽禁带特性，能够高效地将电能转化为紫外光，在杀菌消毒、生物医疗等领域有着重要应用；在太阳能电池中，ZnO薄膜可作为窗口层或电子传输层，有助于提高电池的光电转换效率。在透明导电薄膜领域