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全球市场研究报告
NDIR腔室清洗终点检测仪产品定义
NDIR（非分散红外）腔室清洗终点检测仪是一种基于红外光吸收原理的气体分析设备，专门用于实时监测
半导体制造过程中腔室清洗产生的副产物气体浓度变化（如SiF₄、CF₄等），以精确判定清洗终点。这种设
备通过红外光谱技术，结合先进的传感器和算法，能够实现高精度、高可靠性的气体浓度检测，广泛应用于
薄膜沉积（CVD）等半导体制造工艺。
NDIR腔室清洗终点检测仪产品图片
如上图表/数据，摘自QYResearch最新报告“全球NDIR腔室清洗终点检测仪市场研究报告2025-2031”.
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