基于溶胶凝胶法的Hf基高k栅介质薄膜制备及器件性能优化研究.docx

基于溶胶凝胶法的Hf基高k栅介质薄膜制备及器件性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，半导体器件在现代电子领域中扮演着至关重要的角色，其性能的提升直接推动了信息技术的进步。在半导体器件不断追求高性能、低功耗以及小型化的发展趋势下，栅介质材料作为关键组成部分，其性能对器件的整体表现有着决定性影响。传统的二氧化硅（SiO?）栅介质，由于其较低的介电常数（k≈3.9），在器件尺寸不断缩小的过程中，面临着严重的挑战。当SiO?栅介质的厚度减小到一定程度时，会导致漏电流急剧增加，这不仅会显著增加器件的功耗，还会降低器件的稳定性和可靠性，严重制约了半导体器件性能的进一步提升。