宽带光干涉测量中移相技术的多维探索与应用拓展.docxVIP

下载本文档

0
0
约2.02万字
约 18页
2025-12-12 发布于上海
举报
版权申诉

宽带光干涉测量中移相技术的多维探索与应用拓展.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

宽带光干涉测量中移相技术的多维探索与应用拓展

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，光学测量技术在众多领域中发挥着愈发关键的作用，已成为实现高精度测量与检测的重要手段。宽带光干涉测量作为光学测量领域的核心技术之一，凭借其高精度、非接触、全场测量等显著优势，在材料科学、生物医学、微机电系统（MEMS）、半导体制造等诸多领域得到了广泛应用。在材料科学中，它可用于精确测量材料的厚度、折射率等关键参数，为材料性能的研究与优化提供有力支撑；在生物医学领域，能够实现对生物组织微观结构的高分辨率成像，助力疾病的早期诊断与治疗；在MEMS制造过程中，可对微结构的形貌、尺寸等进行精确检测