皮秒紫外激光器温控系统的设计.pdf

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摘要

近年来,在产业升级和技术创新的推动下,超短脉冲激光加工技术正逐步向高

精度领域发展。其中,皮秒级别的紫外激光器凭借其独特的性能优势,如极高的峰

值功率、极窄的脉冲持续时间以及非接触式加工方式,在多个关键领域展现出重要

价值,包括高精度加工、医疗激光和光伏产业等。然而,皮秒紫外激光器中的关键

光学元件半导体激光器和倍频晶体,均表现出显著的温度敏感性,温度漂移会直接

影响这些元件的物理特性,进而影响激光的输出功率和质量。此外,尽管目前商用

激光器在温度稳定性和精度方面表现优异,但其成本高且体积大

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