IPT8000设备功能与性能验收.pdfVIP

機號IPT8000日期地點

項次內容結果備註

1.基本功能驗收項目:

1機台水平調整

2工作盤水平誤差10um

3即時頻譜

4針座安裝與調整

5晶片與測試資料輸入

6手動單點量測

7掃描測試

8MAP圖形顯示功能

9DATAFILE資料

10接續功能測試

11積分球收光架構

12MW輸出模式功能

備註

2.测试验收规范:

2.1(测量项目)

項次測試項目描述再现性范围

1VF（正向电压）平均准确度误差±0.02V

2LOP（亮度）晶粒平均亮度误差±2.0%

3WLD（主波长）平均誤差±0.2nm

備註客户需良好晶粒测试作为测试，以500‑1000颗晶粒进行重现性测试为基准

2.2IPT的吞吐量

ESD@‑2000V

IR1@5V

VZ1@10μA

Test

VF2@0.001mA周期时间（毫秒）105毫秒

条件

VF1@60mA

LOP1@60mA

WLD1@60mA

⚫以09mil*20mil的晶粒擴大1.2倍，以短邊測試為基準

⚫机台到厂后一周内完成设备安装调试并交予客户使用；同批机台到厂规定时间未能交

備註

机台每延迟交机一天，验收及设备保固时间顺延一个月；因用户端自身调机条件准备不足导致验收延迟的，验收时间相应顺延。

备料、工艺调整、验证等环节可能耽误的时间不计入设备本身的调试时间

檢驗者