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飞秒激光加工微光学元件：技术、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，随着信息技术的飞速发展，对微光学元件的需求与日俱增，且要求其具备更高的精度、更复杂的结构以及更优异的光学性能。微光学元件作为现代光学系统的关键组成部分，广泛应用于光通信、激光技术、生物医学成像、传感器等众多领域，其性能的优劣直接影响着整个光学系统的功能和应用效果。

传统的微光学元件加工技术，如光刻、电子束刻写、离子束刻蚀等，在面对日益复杂的微光学元件结构和高精度要求时，逐渐暴露出一些局限性。例如，光刻技术虽然能够实现大规模的微纳加工，但其加工分辨率受到光的衍射极限限制，难以满足超精细微光学元件的制造需求