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2024年11月岩矿测试Vol.43,No.6
November2024ROCKANDMINERALANALYSIS892−900
樊婷,任子杰,张乾坤,等.双极端对比检测法定量分析高纯石英砂气液包裹体含量[J].岩矿测试,2024,43(6):892−900.DOI:10.
15898/j.ykcs.202410230223.
FANTing,RENZijie,ZHANGQiankun,etal.QuantitativeDetectionofGas-LiquidInclusionsinHigh-PurityQuartzSandbyDouble
ExtremeCaseAnalysis[J].RockandMineralAnalysis,2024,43(6):892−900.DOI:10.15898/j.ykcs.202410230223.
双极端对比检测法定量分析高纯石英砂气液包裹体含量
11,2,3*111,2,341,2,3
樊婷,任子杰,张乾坤,何宇豪,宋昱晗,刘志,向璐
(1.武汉理工大学资源与环境工程学院,湖北武汉430070;
2.关键非金属矿产资源绿色利用教育部重点实验室,湖北武汉430070;
3.矿物资源加工与环境湖北省重点实验室,湖北武汉430070;
4.晶驰科技(武汉)有限公司,湖北武汉430070)
摘要:高纯石英砂作为半导体、光伏等战略新兴行业的关键材料,其质量对单晶硅坩埚、石英管等产品的应
用至关重要。除杂质元素外,气液包裹体是影响高纯石英质量的重要因素之一,但目前对石英气液包裹体
的检测方法多为定性描述,缺乏高效精确的定量分析手段。本文提出了一种双极端对比(Doubleextreme
caseanalysis,DECA)检测法,能够快速、定量地评估气液包裹体含量。具体流程包括:将药剂浸泡石英砂
片置于显微镜下观察并拍摄,总计获取不少于300个石英砂颗粒的显微照片,其中石英砂呈透明状,而气
液包裹体呈黑色,通过图像统计计算得到石英砂通透颗粒(T)和不通透颗粒(NT)比例两个数据,以此来评
价石英砂品质。通过研究不同石英砂DECA检测结果及坩埚能力,结果表明,T比例较高、NT比例较低的
石英砂制备的坩埚透明度优良;而T比例较低、NT比例较高的石英砂制品透明层质量显著下降。该方法
有效地解决了气液包裹体检测中定量化不足的难题,为高纯石英砂品质评估提供了可靠依据。
关键词:高纯石英;气液包裹体;定量;双极端对比检测法;石英坩埚
要点:
(1)提出双极端对比法,通过显微图像分析通透颗粒(T)与不通透颗粒(NT)比例,实现气液包裹体的定量评估。
(2)利用药剂浸泡和显微图像统计方法,使包裹体显色,解决了高纯石英气液包裹体的检测难题。
(3)验证了DECA检测法用于评估石英砂坩埚品质的能力,T比例高的石英砂坩埚透明度优良,NT比例高
的石英砂则透明度较差。
中图分类号:TD97文献标识码:B
高纯石英作为一种不可或缺的战略性材料,在包裹体和类质同象三种状态赋存于主矿物中,其中
半导体、光学、光通信、太阳能、国防和航空航天等气液包裹体中的微量元素杂质和气体、液体杂质是
高端技术领域中占据重要地位[1-2]。尽管全球石英影响高纯石英制品质量的主要因素之一[4-5]。现有
资源丰富,但适用于生产高纯石英的优质原料一级研究和实践普遍认为,优质的高纯石英砂中气液包
[3]
和二级水晶资源已经逐步枯竭。为应对这一资裹体含量尽可能低,但气液包裹体去除难度较大,因
源瓶颈,人们逐步将伟晶岩、脉石英和变质石英岩等此选择高质量的原矿成为高纯石英制备的关键[6-7]。
[8]
普通石英作为高纯石英原料的主要替代品。然而,魏玉燕研究表明,用于制备高纯石英的
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