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研究报告

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2026年中国半导体用气动泵行业市场规模及投资前景预测分析报告

第一章行业概述

1.1行业定义及分类

在当今全球科技发展的大背景下，中国半导体气动泵行业作为半导体制造的关键设备之一，承载着推动国家集成电路产业发展的重任。行业定义上，半导体气动泵主要是指用于半导体制造过程中的抽真空、气体输送、压力调节等环节的气动设备。这些设备在半导体制造中发挥着至关重要的作用，如光刻、刻蚀、沉积等工序均对环境中的气体质量有着极高的要求，气动泵的精确控制能够有效提升制造工艺的良率和产品质量。

根据产品类型，半导体气动泵行业可大致分为两大类：一类是真空泵，另一类是气体输