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基于掺杂半导体表面等离激元效应的T2SL红外探测器创新设计与性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

红外探测器作为能够将红外辐射转换为电信号的关键光电器件，在当今社会的众多领域都发挥着不可或缺的重要作用。在军事领域，红外探测器是实现夜间侦察、目标识别与跟踪以及精确制导的核心元件。借助红外探测器，军事装备可以在夜间或恶劣天气条件下，有效探测到敌方目标的红外辐射信号，从而实现对目标的准确识别和定位，为军事行动的决策提供关键依据，显著提升军事作战的隐蔽性和精确性。在民用领域，红外探测器的应用也极为广泛。在安防监控系统中，它可以实时监测周边环境的温度变化，及时发现潜在的安全威胁，如火灾、入侵等，为人们的生命财产安全提供有力保障。在工业生产中，红外探测器可用于检测设备的运行状态，通过监测设备表面的温度分布，及时发现设备的故障隐患，实现设备的预防性维护，提高生产效率和产品质量。在医疗领域，红外探测器被应用于体温检测、医学成像等方面，为疾病的诊断和治疗提供重要的参考信息。

锑化物Ⅱ类超晶格（T2SL）红外探测器由于其独特的二型能带结构，展现出诸多优异的性能。其俄歇复合速率低，这使得探测器在工作过程中能够有效减少噪声的产生，从而提高探测的灵敏度和准确性；波长覆盖范围大（3-30微米），能够满足不同应用场景对不同波长红外辐射的探测需求；大面积均匀性好，有利于大规模制备和应用；成本相对较低，这为其在众多领域的广泛应用提供了经济可行性。然而，当前T2SL红外探测器在性能方面仍面临一些挑战，例如响应率和探测率有待进一步提高，这限制了其在一些对探测器性能要求极高的场景中的应用。

表面等离激元是指在金属与介质界面处，由自由电子的集体振荡与光子相互作用而产生的一种电磁模式。在掺杂半导体中引入表面等离激元效应，可以有效增强光与物质的相互作用。当红外光照射到掺杂半导体表面时，表面等离激元能够将光场局域在金属与半导体的界面附近，使光在该区域内的强度显著增强，从而增加探测器对红外光的吸收效率，进而有望提高T2SL红外探测器的响应率和探测率。此外，表面等离激元还可以对探测器的光场分布和传输特性进行调控，为探测器的性能优化提供了新的途径。因此，利用掺杂半导体表面等离激元效应改进T2SL红外探测器的设计具有重要的研究意义，有望推动红外探测器技术的发展，满足军事、民用等领域对高性能红外探测器的迫切需求。

1.2国内外研究现状

在T2SL红外探测器的研究方面，国内外学者取得了一系列重要成果。国内云南师范大学先进探测技术创新团队与中科院半导体所、兵器集团211所合作，研制出了高性能的InAs/GaSbⅡ类超晶格长波红外探测器，并对其进行了高能电子辐照实验，研究了辐照损伤机理和特性，为器件的空间应用奠定了基础。国科天成于2023年成功研发出T2SL制冷型探测器及非制冷型探测器，其性能在灵敏度、分辨率、功耗和稳定性等方面都有出色表现。国外VIGOPhotonics、SemiConductorDevices等公司在T2SL制冷型红外探测器领域也具有一定的市场份额，其产品在气体成分分析、环境监测和军事应用等领域得到了应用。

在等离激元效应应用于探测器设计方面，也有不少研究进展。有研究利用表面等离激元方法提高能量转换效率，在TiO?/Aunanorods(NRs)/Si结构中实现了高灵敏位置探测。还有研究提出基于等离子体激元共振增强的新型探测方法，显著提升了半导体探测器对轻暗物质的灵敏度。然而，现有研究在将掺杂半导体表面等离激元效应与T2SL红外探测器设计相结合方面还存在不足。对于如何精确调控表面等离激元与T2SL材料之间的相互作用，以实现探测器性能的最大化提升，仍缺乏深入系统的研究。在优化探测器结构以充分发挥表面等离激元效应的优势方面，也存在研究空白。

1.3研究内容与方法

本研究围绕基于掺杂半导体表面等离激元效应的T2SL红外探测器设计展开，主要研究内容包括：深入研究掺杂半导体表面等离激元的激发与调控机制，分析不同掺杂浓度、半导体材料特性以及金属结构对表面等离激元的影响规律；基于表面等离激元效应，设计新型的T2SL红外探测器结构，通过优化金属纳米结构的形状、尺寸和排列方式，以及T2SL层的厚度和组分，实现对红外光的高效吸收和探测器性能的提升；对设计的探测器进行性能优化，研究表面等离激元与T2SL材料中载流子的相互作用过程，分析探测器的响应率、探测率、噪声等性能参数与表面等离激元效应之间的关系，通过调整相关参数，优化探测器的性能。

在研究方法上，采用理论分析、数值模拟和实验验证相结合的方式。运用电磁学、半导体物理等相关理论，建立表面等离激元与T2SL红外探测器相互作用的理论模