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2026-2030中国电子束曝光系统（EBL）市场应用领域及竞争力策略剖析报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、中国电子束曝光系统（EBL）市场发展背景与宏观环境分析 4
1.1全球半导体制造技术演进趋势对EBL需求的驱动作用 4
1.2中国“十四五”及中长期科技战略对高端光刻装备国产化的政策支持 6
二、电子束曝光系统核心技术原理与技术路线比较 8
2.1EBL系统基本工作原理与关键子系统构成 8
2.2EBL与其他纳米加工技术（如极紫外光刻、纳米压印）的技术对比 11
三、中国EBL市场供需现状与规模预测（2026
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