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Ce掺杂对HfO2铁电薄膜相稳定性的影响.doc

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    TOC\o1-3\h\z\u1.引言 2

    1.1铁电材料概述 2

    1.2铁电薄膜概述 4

    1.3铁电存储器 5

    1.3.1铁电随机存储器(FeRAM) 5

    1.3.2铁电场效应晶体管(FeFET) 6

    1.4氧化铪基铁电材料 7

    1.4.1氧化铪概述 7

    1.4.2氧化铪基铁电薄膜概述 7

    1.4.3氧化铪基铁电薄膜的应用 9

    1.5薄膜制备理论与方法 9

    1.5.1脉冲激光沉积法(PLD) 9

    1.5.2原子层沉积法(ALD) 10

    1.5.3溅射法 10

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