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晶体硅制备技术直拉单晶硅生产技术
真空及氩气系统主讲教师:
课程导入01系统核心功能解析02系统核心设备与工作流程03系统关键参数控制04
Part01课程导入
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一、课程导入(二)问题提出单晶硅生长环境要求单晶硅生长对生产环境要求极其苛刻,炉腔内的环境状况直接影响单晶硅的生长质量。
一、课程导入(二)问题提出炉腔空气不处理的问题炉腔内的空气若不处理,会
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