《单晶硅制备技术》课件——单晶炉常见设备故障分析.pptxVIP

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2025-12-19 发布于福建
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《单晶硅制备技术》课件——单晶炉常见设备故障分析.pptx

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晶体硅制备技术单晶炉常见设备故障分析主讲教师：

课程概述与学习目标01故障分析核心原则与思路02机械结构故障（运动系统）03电气结构故障（控制系统）04

热场结构故障（高温核心）05水冷系统故障（散热保障）06真空及氩气系统故障07故障分析关键点回顾与总结08

Part01课程概述与学习目标

一、课程概述与学习目标（一）课程背景与核心任务01设备运行背景单晶炉长时间在高温、高真空、连续运转的严苛条件下工作，精密的设备也难免出现故障。02核心任务内容本节课核心任务是当单晶炉运行不正常时，通过观察现象，结合设备结构知识，快速锁定故障系统及部件。031课程安排说明本节课只分析故障现象和原因，后续课